该装置能够再生液晶面板制造过程中使用的剥离液。
近年来，随着面板基板尺寸的增加，溶剂的使用量也随之上升。人们希望通过再利用来降低成本，或者采取环保措施。
SRS 拥有高回收率和出色的可操作性，可满足以上需求。

特长

• 可进行高品质、高回收率（90%以上）的处理

• 无需使用电子材料溶剂，即可调整浓度

• 可在短时间内启动

• 全自动运行

• 2005年 荣获分离技术奖

剥离液再生装置原理

液晶面板制造过程中，有一道工序叫作“抗蚀剂剥离工序”，会用到大量剥离液。
这道工序排出的剥离废液大致分为三种：不挥发成分（抗蚀剂）、低沸点成分（水分等）、高沸点成分，三者作为杂质包含在剥离液的成分中。

1. 剥离回收液在流下型薄膜浓缩器（FD）中，分离出不挥发成分（抗蚀剂）。
   此时，抗蚀剂可以在流动状态下分离并浓缩，而不会粘连。

2. 分离抗蚀剂后的剥离回收液，会流入蒸馏塔。
   此处可分离低沸点的杂质。

3. 在剥离液精制塔中，由于剥离液成分被蒸发，因此能与剩余的高沸点物质分离开来。
   将剥离液本身蒸发，便能从剥离液成分中精确分离和去除重金属成分。

规格一览

基于 MEA-DMSO 剥离废液处理标准（含水分10%、抗蚀剂2%）。